內(nèi)容介紹
一、產(chǎn)品介紹
四氟化碳在常溫下是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體，是性質(zhì)非常穩(wěn)定的無毒物質(zhì)，不易溶于水，
是一種溫室氣體。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量***大的等離子蝕刻氣體。
中文名：四氟化碳/四氟甲烷 |
分子式：CF4 |
英文名：Carbon tetrafluoride |
相對分子量：88 |
CAS No：75-73-0 |
危險(xiǎn)性類別：第2.2類不燃?xì)怏w |
UN No：1956 |
溶解性：不溶于水 |
熔點(diǎn):-183.6℃ |
沸點(diǎn):-128.0℃ |
臨界溫度：-45.67℃ |
液體密度(-128℃)：1603kg/m3 |
臨界壓力：3.73MPa |
氣體密度(0℃，101.325kPa)：3.946kg/m3 |
二、 技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)
檢驗(yàn)項(xiàng)目 |
指標(biāo) |
|
四氟化碳（v/v）% ≥ |
99.999 |
99.99 |
氮ppmv ≤ |
5 |
40 |
氧ppmv ≤ |
2 |
20 |
一氧化碳ppmv ≤ |
1 |
10 |
二氧化碳ppmv ≤ |
1 |
10 |
六氟化硫ppmv ≤ |
1 |
5 |
總酸度（以HF計(jì)）ppmv ≤ |
0.5 |
0.5 |
TFC ppmv ≤ |
1 |
10 |
水ppmv ≤ |
1 |
1 |
總雜質(zhì)含量ppmv ≤ |
10 |
100 |
三、 包裝規(guī)格(鋼瓶、Y瓶)
容積（升） |
40 |
47 |
470 |
氣體重量（公斤） |
26 |
30 |
300 |
充裝壓力（MPa） |
9--13 |
9--13 |
9--13 |
閥門型號 |
CGA580 |
CGA320 |
CGA320 |
*可根據(jù)客戶要求提供其它規(guī)格的包裝。
四、四氟化碳的應(yīng)用
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量***大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷
硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、
泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。四氟化碳還可用于金屬冶
煉和塑料行業(yè)等，有時(shí)會用作低溫冷卻劑。
五、注意事項(xiàng)
儲存于陰涼、通風(fēng)倉庫內(nèi)。倉庫溫度不宜超過50℃。遠(yuǎn)離火種、熱源，防止陽光直射。應(yīng)與易燃或可
燃物分開存放。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。泄漏時(shí)，應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員***風(fēng)處，
并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格***出入，建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服，盡可能切斷泄
漏源，合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。四氟化碳一般認(rèn)為是惰性無毒物
質(zhì)，在高濃度下是窒息劑，其毒性不及四氯化碳。 四氟化碳為非腐蝕性氣體，所有通用材料如鋼、不銹
鋼、銅、青銅，鋁等金屬材料都可以使用，但是含鎂大于2%的合金不能用。在高溫，一些金屬起加速CF4
分解的催化作用。按其催化作用增長的次序由小到大地排列則如下：因科鎳合金、奧氏體不銹鋼、鎳、鋼、
鋁、銅、青銅、黃銅、銀?？梢杂镁鬯姆蚁?，環(huán)氧樹脂和醋酸纖維。瓶裝氣體產(chǎn)品為高壓充裝氣體，使
用時(shí)應(yīng)經(jīng)減壓降壓后方可使用，每瓶氣體在使用到尾氣時(shí)，應(yīng)保留瓶內(nèi)余壓在0.3MPa，***小不得低于0.2MPa
余壓，將瓶閥關(guān)閉，以保證氣體質(zhì)量和使用安全。勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴(yán)禁明火烘烤氣瓶，嚴(yán)禁野蠻
裝卸。鋼瓶瓶頸上有鋼瓶檢驗(yàn)時(shí)間，不符合要求的鋼瓶應(yīng)委托菲利爾特種氣體等供應(yīng)商到有資質(zhì)的壓力容器
檢驗(yàn)單位進(jìn)行檢驗(yàn)。嚴(yán)禁使用過期鋼瓶。
