一、產品介紹            

    三氟化氮在常溫下是一種無色、無臭、化學性質穩(wěn)定的氣體，不可燃，但能助燃，是一種強氧化劑。

當溫度超過350℃時，三氟化氮氣體會緩慢分解，分解時產生強氧化性氟，因此在高溫下它是一種強氧化劑。

三氟化氮可以用作氟化氫－氟化氣高能化學激光器的氟源，是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體。

 二、技術標準

三、  包裝規(guī)格(鋼瓶、Y瓶、長管拖車)

   *可根據客戶要求提供其它規(guī)格的包裝。

四、三氟化氮的應用 
    三氟化氮可以用作氟化氫－氟化氣高能化學激光器的氟源，是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，

尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物

表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。
五、注意事項

    儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過50℃。應與易（可）燃物、還原劑、食用化學

品分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應備有泄漏應急處理設備。操作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作規(guī)程。密

閉空間操作時應提供充分的局部排風和***通風。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具（半面罩），戴化學

安全防護眼鏡，穿防毒物滲透工作服，戴橡膠手套。遠離火種、熱源，工作場所嚴禁吸煙。遠離易燃、可燃物。

防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與還原劑接觸。搬運時戴好鋼瓶安全帽和防震橡皮圈，防止鋼瓶碰撞、

損壞。配備相應品種和數量的消防器材及泄漏應急處理設備。鋼瓶瓶頸上有鋼瓶檢驗時間，不符合要求的鋼瓶

應委托菲利爾特種氣體等供應商到有資質的壓力容器檢驗單位進行檢驗。嚴禁使用過期鋼瓶。

六、急救措施

    皮膚接觸：脫去污染的衣著，用流動清水沖洗。若有灼傷，就醫(yī)治療。

    眼睛接觸：立即翻開上下眼瞼，用流動清水沖洗15分鐘。就醫(yī)。

    吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢，呼吸困難時給輸氧。呼吸停止時，立即進行人工呼吸。

七、泄露處理應急處理

    迅速撤離泄漏污染區(qū)人員***風處，并進行隔離，嚴格***出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式

呼吸器，穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。