高壓開關(guān)里面六氟化硫(SF6)氣體的雜質(zhì)種類和濃度，受運(yùn)行時(shí)間、開斷次數(shù)、微水含量和新氣雜質(zhì)等多個(gè)因素影響，情況各不相同。SF6氣體在設(shè)備里經(jīng)過長(zhǎng)期運(yùn)行，在水分和電弧等作用下，會(huì)產(chǎn)生一些有毒的分解產(chǎn)物，公認(rèn)的氣態(tài)產(chǎn)物主要有：HF、SO2、SOF2、SO2F2、SF4、H2S等，固態(tài)分解產(chǎn)物有SiF4、AlF3、CuF2d等。這種氣體如果直接排放，將造成周圍環(huán)境的嚴(yán)重污染，所以我們必須對(duì)廢舊的六氟化硫氣體進(jìn)行回收凈化處理，以期能再次利用。

　　拉回工廠的SF6廢氣，回放到六氟化硫氣體生產(chǎn)系統(tǒng)中，經(jīng)過高溫裂解、除塵、水洗、堿洗、吸附、低溫精餾等一系列純化工藝，將被徹底的凈化，達(dá)到符合新氣標(biāo)準(zhǔn)的合格氣體。