內(nèi)容介紹
一、產(chǎn)品介紹
在鎢的氟化物中,WF6是***穩(wěn)定并被工業(yè)化生產(chǎn)的品種。六氟化鎢在不同的溫度下為一種無色、
無嗅的氣體或透明的液體,其分子在常溫下具有對(duì)稱的正八面體結(jié)構(gòu)。六氟化鎢是一種強(qiáng)氟化劑,除鎳、
蒙乃爾合金和不銹鋼外,在室溫下能使許多金屬氟化。在干燥狀態(tài)時(shí)對(duì)玻璃的腐蝕較弱,但在濕氣中能
迅速反應(yīng)。六氟化鎢與離子型鹵化物反應(yīng)可形成配位化合物,在高溫下可被氫還原為鎢。六氟化鎢遇水
很快水解,迅速生成氟化氫(HF) 和三氧化鎢,因此六氟化鎢在空氣中的毒性與HF基本相同。
中文名:六氟化鎢 |
分子式:WF6 |
英文名:Tungsten hexafluoride |
相對(duì)分子量:297.8 |
CAS No:7783-82-6 |
危險(xiǎn)性類別:第2.3類有毒氣體 |
UN No:2196 |
溶解性:溶于多數(shù)有機(jī)溶劑 |
熔點(diǎn):2.3℃ |
沸點(diǎn):17.2℃ |
臨界溫度:169.85℃ |
液體密度(水=1,15℃):3441kg/ m3 |
臨界壓力:4.27MPa |
氣體密度(1atm,21℃):13.29kg/m3 |
二、技術(shù)指標(biāo)
檢驗(yàn)項(xiàng)目 |
指標(biāo) |
六氟化鎢(v/v)% ≥ |
99.999 |
氮 ppmv ≤ |
1.0 |
氧 氬 ppmv ≤ |
0.5 |
一氧化碳 ppmv ≤ |
0.5 |
二氧化碳 ppmv ≤ |
0.5 |
四氟化碳 ppmv ≤ |
0.5 |
三氟化氮 ppmv ≤ |
0.5 |
六氟化硫 ppmv ≤ |
0.5 |
四氟化硅 ppmv ≤ |
0.5 |
總酸度(以HF計(jì))ppmv ≤ |
5 |
三、包裝規(guī)格
容積(升) |
10 |
20 |
40 |
充裝量(公斤) |
12.5 |
25 |
50 |
閥門型號(hào) |
CGA638 |
CGA638 |
CGA638 |
*可根據(jù)客戶要求提供其它規(guī)格的包裝。
四、六氟化鎢的應(yīng)用
主要用途是在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的原材料,特別是用它制成的WSi2可用
作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復(fù)合涂層,可用于X-射線的
發(fā)射電極。還可用作半導(dǎo)體電極和導(dǎo)電漿糊等的原材料。
WF6還有許多非電子方面的應(yīng)用,例如通過CVD技術(shù)使鎢在鋼的表面上生成堅(jiān)硬的碳化鎢可用來改善鋼
的表面性能,它還可用于制造某些鎢制部件,用作氟化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。
五、注意事項(xiàng)
泄露應(yīng)急處理:迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū),禁止無關(guān)人員進(jìn)入污染區(qū),應(yīng)急處理人員戴正壓
自給式呼吸器,穿廠商特別推薦的化學(xué)防護(hù)服(完全隔離)。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)(或
擴(kuò)散),但不要對(duì)泄漏物或泄漏點(diǎn)直接噴水。勿使水進(jìn)入包裝容器內(nèi),抽排(室內(nèi))或強(qiáng)力通風(fēng)(室外)。
漏氣容器不能再用,且要經(jīng)過技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。鋼瓶瓶頸上有鋼瓶檢驗(yàn)時(shí)間,不符合要求的
鋼瓶應(yīng)委托菲利爾特種氣體等供應(yīng)商到有資質(zhì)的壓力容器檢驗(yàn)單位進(jìn)行檢驗(yàn)。嚴(yán)禁使用過期鋼瓶。
六、急救措施
皮膚接觸:脫去污染的衣著,用流動(dòng)清水沖洗。在灼傷處涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水。就醫(yī)。
眼睛接觸:立即翻開上下眼瞼,立即用大量流動(dòng)清水徹底沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。
吸入:脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。呼吸困難時(shí)給輸氧。呼吸停止時(shí),立即進(jìn)行人工呼吸。立即就醫(yī)。
食入:誤服者用水漱口,飲牛奶或蛋清,立即就醫(yī)。
滅火方法:泡沫、二氧化碳、干粉。