黎明六氟化硫在常溫常壓下呈氣態(tài)，裝瓶后為高壓液體。無色、無臭、無毒、不燃。具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。近年來,氣體在許多生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域中,越來越顯示出它的重要性。

　　黎明六氟化硫是我國科研、生產(chǎn)等許多部門急需的特種氣休,在半導(dǎo)體工業(yè)巾用于等離子蝕刻工藝,在光導(dǎo)纖維制造中用作隔離層摻雜劑。SF6氣體還是重要的激光材料,在其它領(lǐng)域也有重要用途。

　　在TFT-LCD面板廠及其他微電子行業(yè)，黎明六氟化硫常用作清潔氣體和蝕刻氣體，在光導(dǎo)纖維的生產(chǎn)過程中，也常用六氟化硫作為單膜光纖隔離層摻雜劑。

　　另外，需要注意的是電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板(棒、管)等絕緣件;或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學(xué)作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等產(chǎn)物。

文章內(nèi)容來源于六氟化硫：http://www.princeton-solutions.com