高純六氟化硫在常溫常壓下呈氣態(tài)，裝瓶后為高壓液體。無色、無臭、無毒、不燃。具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。近年來在許多生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域中,越來越顯示出它的重要性。

　　高純六氟化硫是我國科研、生產(chǎn)等許多部門急需的特種氣休,在半導(dǎo)體工業(yè)巾用于等離子蝕刻工藝,在光導(dǎo)纖維制造中用作隔離層摻雜劑。還是重要的激光材料,在其它領(lǐng)域也有重要用途。因?yàn)榱己玫慕^緣性和滅弧性，氣體被廣泛應(yīng)用于電器工業(yè)，如斷路器、高壓開關(guān)、高壓變壓器、高壓傳輸線、互感器等。具體的應(yīng)用體現(xiàn)在以下幾方面。

　　1、高純六氟化硫還因化學(xué)惰性及無毒 、不燃及無腐蝕性，廣泛用于金屬冶煉及大氣示蹤、電子制造等行業(yè)。

　　2、電子級高純的黎明六氟化硫是一中理想的電子蝕刻劑，大量應(yīng)用于微電子等技術(shù)領(lǐng)域。

　　3、冷凍工業(yè)中，高純六氟化硫可作為致冷劑，黎明六氟化硫致冷范圍在-45℃-0℃之間。

　　4、電氣工業(yè)利用黎明六氟化硫作為很高介電強(qiáng)度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關(guān)、大容量變壓器、高壓電纜、氣體絕緣材料等。

　　5、六氟化硫氣體還可以作為采礦工業(yè)用作反吸附劑，在礦井煤塵中可用于置換氧。

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