純凈的六氟化硫氣體是無毒的，但其在生產過程中會有少量生成物。這些生成物中有些成分是有劇毒的，須經凈化處理，將其完全除凈才可使用。

　　雖然高純氣體無毒，但在工作場所中要防止六氟化硫氣體發(fā)生泄漏，導致濃度迅速上升。該氣體一旦發(fā)生泄漏，其危害巨大。又如果氣體不純，不僅對人體有害，對電氣設備還有腐蝕作用，造成泄漏。因此，保證氣體純度非常重要。

　　檢測氣體純度，一般使用六氟化硫氣體純度分析儀，市面上對高純六氟化硫純度進行分析的儀器種類和價格各異，熱導法是檢測氣體純度的主要方法。

　　當濃度過大時，就會使人窒息，因此六氟化硫氣體生產場所在設計戶內通風裝置時，一定要考慮這一情況。通過對流，該氣體還會與空氣混合。

　　另外，高純六氟化硫一旦與空氣混合，就會形成混合氣體，不會再次分離。在電弧作用下，還會生成含有劇毒的分解物，它們還有強烈的腐蝕性。

文章內容來源于六氟化硫氣體：www.princeton-solutions.com/