工業(yè)級(jí)高純六氟化硫主要用于斷路器、變壓器等電器設(shè)備。六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長(zhǎng)設(shè)備壽命。近幾年，國(guó)家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)?lái)了很大的市場(chǎng)機(jī)遇。主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。另外高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國(guó)內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

　　高純六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來(lái)，各公司以廉價(jià)的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時(shí)，還顯示出了環(huán)保前景，近年來(lái)用量有明顯的提高。我國(guó)成為僅次于美國(guó)的世界第二大集成電路市場(chǎng)，總需求量約為500億美元。

　　目前國(guó)內(nèi)使用黎明六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計(jì)。在未來(lái)的幾年預(yù)計(jì)將有20條至30條新線建成。每年約消耗為600噸左右。而國(guó)內(nèi)高純產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足市場(chǎng)需求，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進(jìn)口，這給六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。

文章內(nèi)容來(lái)源于高純六氟化硫：www.princeton-solutions.com/